真空泵的類型非常多,劃分方法也多樣:
按工作原理分:容積變化泵(如旋片泵、渦旋泵等);動量傳輸泵(如分子泵、擴散泵等);吸附捕集泵(如低溫泵、離子泵、吸氣劑泵)
按工作介質分:干式泵(如渦旋泵、分子泵、離子泵等)和非干式泵(如旋片泵、擴散泵等)
按真(zhen)空(kong)(kong)度(du)分(fen)(fen):低真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(如(ru)旋片泵(beng)、渦旋泵(beng)、羅茨泵(beng)等(deng))、高真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(如(ru)分(fen)(fen)子(zi)泵(beng)、擴散泵(beng)、低溫泵(beng)等(deng))、超高真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)(如(ru)離子(zi)泵(beng)、鈦升華泵(beng)、吸(xi)氣劑泵(beng)等(deng))
涉及(ji)社(she)會新(xin)聞