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1、 充(chong)氦(hai)充(chong)氮氟油檢(jian)漏軟(ruan)件
充氦充氮(dan)氟(fu)油檢(jian)(jian)漏(lou)APP是對半(ban)導器材做(zuo)出封好性、靠得住性粗檢(jian)(jian)漏(lou)的(de)**設備,它與(yu)氦質譜檢(jian)(jian)漏(lou)儀設施操作(zuo),成(cheng)功完成(cheng)GJBI128A-97國(guo)家的(de)標準(zhun)規范(fan)和(he)GJB548-96**的(de)標準(zhun)規范(fan)中,對半(ban)導器材零件加(jia)工做(zuo)出氦增壓精檢(jian)(jian)漏(lou)和(he)充低壓氟(fu)油粗檢(jian)(jian)漏(lou)請(qing)求。
此APP的(de)本職(zhi)工作方(fang)式是:
1、氦精檢(jian)漏(lou)實驗所,將半導體技術零(ling)件圖或元器件放置于超高壓貯槽中(zhong),按(an)國家地區準則(ze)中(zhong)的(de)(de)指定,要依據被檢(jian)件的(de)(de)表面(mian)積(ji)面(mian)積(ji)大(da)小(xiao),施用的(de)(de)各(ge)不相同的(de)(de)各(ge)種(zhong)壓力和氦氣,保護(hu)的(de)(de)各(ge)不相同時間段,調節情緒后把被檢(jian)件從貯槽中(zhong)拿出來(lai),在氦質譜(pu)檢(jian)漏(lou)儀(yi)上(shang)檢(jian)漏(lou),要依據漏(lou)率(lv)值辨(bian)別是(shi)不是(shi)通過。
2、粗檢(jian)漏(lou)實驗所,將精檢(jian)漏(lou)后的被(bei)檢(jian)件倒入真空系(xi)統(tong)(tong)系(xi)統(tong)(tong)施壓(ya)罐中抽真空系(xi)統(tong)(tong)系(xi)統(tong)(tong),獲取一(yi)段(duan)量的氟(fu)油(you),再保壓(ya)一(yi)段(duan)事件,放(fang)空取出來后,倒入特別加濕(shi)的氟(fu)油(you)中,據有(you)何裂痕選擇需(xu)不需(xu)要完(wan)成。全整個過程過渡參(can)與(yu),進行(xing)操作(zuo)(zuo)簡簡單單,安(an)全性可以信賴,本職工作(zuo)(zuo)場景擦洗。
2、多車(che)間工作臺(tai)高真空室(shi)進(jin)氣檢漏(lou)臺(tai)
多工作臺面氦質(zhi)譜檢漏高真空度(du)排氣管(guan)檢漏裝備適宜(yi)于工業生(sheng)產(chan)區域高電壓(ya)按(an)鈕開關管(guan)、徽波導(dao)彈管(guan)等請(qing)求一大批(pi)處理、多好產(chan)品、高精確(que)度(du)度(du)、盡快檢漏好產(chan)品的檢漏生(sheng)產(chan)設備。
該機設(she)計(ji)由檢漏儀和檢漏的APP倆部排序成,檢漏儀適(shi)用(yong)答案鋼件(jian)是否能夠漏洞;檢漏的APP對(dui)(dui)鋼件(jian)去(qu)正空(kong)箱(xiang)(xiang)預抽,檢漏的APP有上下兩對(dui)(dui)雙方獨(du)立性(xing)的在(zai)(zai)線探測工裝夾具(ju)器(qi)具(ju),每組(zu)工裝夾具(ju)器(qi)具(ju)快速(su)設(she)置了1-3個(ge)在(zai)(zai)線探測模塊;幾(ji)組(zu)工裝夾具(ju)器(qi)具(ju)抽正空(kong)箱(xiang)(xiang)的一同,另(ling)幾(ji)組(zu)工裝夾具(ju)器(qi)具(ju)去(qu)在(zai)(zai)線探測或裝載卸載鋼件(jian),減短了在(zai)(zai)線探測期限,提生了工作上作業效率(lv)。由可語言編程(cheng)行(xing)業把握(wo)器(qi)(PLC)對(dui)(dui)在(zai)(zai)線探測全(quan)整個(ge)流程(cheng)去(qu)全(quan)自動把握(wo),做到了機設(she)計(ji)的安穩(wen)性(xing)、不靠譜性(xing),運營甚為簡(jian)便,簡(jian)便了在(zai)(zai)消費(fei)者。
通常技能要(yao)求和參(can)數值:
1、電(dian)壓: 220V 12A
2、高壓氣度(du):5×10-3 Pa·m3/S
3、崗位(wei)拍節負載:20S/拍
4、啟動時間:<10min
5、響應時間: <5S
6、擠壓新鮮空(kong)氣: 5~6kg
7、情況熱度: 5~35℃
8、空氣相對濕度: <80
9、業務別墅地(di)下室環境符近無強磁感線、無激烈共(gong)振、無防強腐蝕(shi)性混合氣(qi)體;別墅地(di)下室通充分,以減少氦(hai)氣(qi)干攏。
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